제품 정보
MFC (Mass Flow Controller)
제품설명
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Information |
- Gas Bottle에서 나오는 Gas를 미량, 정확한 유량으로 측정하여 흐르게 하기 위한 장치
- 사용 단위는 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용
- Gas 종류별 선택, MFC Controller로 Control 해야함.
- 일반적으로 산업용을 포함하여 반도체고정에도 사용할 수 있도록 설계되어 있음
- Flow meter에 비해 가격이 비쌈.
SPEC |