제품 정보

MFC (Mass Flow Controller)

Gas Bottle에서 나오는 Gas를 미량, 정확한 유량으로 측정하여 흐르게 하기 위한 장치

사용 단위는 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용

Gas 종류별 선택, MFC Controller로 Control 해야함.

일반적으로 산업용을 포함하여 반도체고정에도 사용할 수 있도록 설계되어 있음

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제품설명

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Information

- Gas Bottle에서 나오는 Gas를 미량, 정확한 유량으로 측정하여  흐르게 하기 위한 장치

- 사용 단위는 일반적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용

- Gas 종류별 선택, MFC Controller로 Control 해야함.
- 일반적으로 산업용을 포함하여 반도체고정에도 사용할 수 있도록 설계되어 있음
- Flow meter에 비해 가격이 비쌈.

 

SPEC